Load Port對應膜厚測量系統(tǒng) GS-300

產品簡介
●Φ支持到300mmEFM單元備用端口的集成

●實現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊

●支持半導體工藝的高吞吐量要求

●支持槽口對齊功能

●小尺寸規(guī)格

●高精度自動校準單元

產品型號：

更新時間：2025-05-07

廠商性質：生產廠家

訪問量：461

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

光譜系統(tǒng)

顯微缺陷膜厚半導體晶圓缺陷檢測儀高光譜測試系統(tǒng) 瞬態(tài)吸收系統(tǒng) 太陽能電池量子效率太陽光模擬器IV系統(tǒng) 顯微光電流成像系統(tǒng) 探測器光響應度系統(tǒng) 光譜變溫附件探針臺拉曼SERS增強試劑顯微熒光系統(tǒng) 組合熒光系統(tǒng) 鏡頭透過率測試系統(tǒng) 漫反射率測試系統(tǒng) 反射、吸收率系統(tǒng) 成像亮度計標準燈參考輻射定標電致發(fā)光系統(tǒng) 常規(guī)發(fā)射光譜系統(tǒng) 共聚焦拉曼光譜儀

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產品信息

測量示例

TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度

晶圓厚度Φ300mm尺寸

規(guī)格

Load Port對應膜厚測量系統(tǒng) GS-300

測量示例

Load Port對應膜厚測量系統(tǒng) GS-300

上海波銘科學儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學機械和光學平臺、激光器、Edmund 光學元件、Newport 產品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導體測試設備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經過多年的發(fā)展，上海波銘科學儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產品和服務在行業(yè)內具有較高的知zhi名度和美譽度，客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場地位和影響力。

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